조선닷컴 : 전체기사: 반도체 결함 측정ㆍ계측장비 ‘기술독립’ 주도

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반도체 결함 측정ㆍ계측장비 '기술독립' 주도 Sep 28th 2011, 04:50 (닷컴비즈뉴스) 충남 아산시 탕정면 선문대학교(www.sunmoon.ac.kr) 내에 있는 MI장비기술개발 사업단(단장 김호섭)은 나노산업의 핵심공정기술인 반도체 측정 및 검사장비 개발 분야에서 '기술독립'을 주도하고 있다. 하이닉스반도체와 한국과학기술연구원 등 국내 7개 우수기관과 컨소시엄을 구성해 지식경제부로부터 5년간 70억 원의 원천기술 확보를 위한 정부지원금을 받아 MI장비 개발에 몰두하고 있다. MI기술은 반도체 제조공정에서 마스크 ...

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